特許
J-GLOBAL ID：200903074774548920
除振装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-123239
公開番号（公開出願番号）：特開平5-321980
出願日： 1992年05月15日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】内部加振に伴う装置本体フレームの回転運動を除去し、フレームに与えられるモーメント力を低減し、フレーム上部と下部の相対変位を減少させる。【構成】本体1を支持する傾斜させたバネ2、鉛直・水平方向に作用する減衰系3により構成される。【効果】本発明により、除振装置上の装置の回転運動が除去され、装置本体にかかるモーメント力による本体フレームの変形を防ぎ、フレーム上部と下部の相対変位を小さくすることができる。
請求項（抜粋）：
精密機器を保持するバネ系が、保持される機器に対して傾斜していることを特徴とする除振装置。
IPC (3件)：
F16F 15/06
, H01L 21/027
, H01L 21/68
