特許
J-GLOBAL ID：200903074780066074
半導体ウェーハ製造過程表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-241344
公開番号（公開出願番号）：特開平7-176598
出願日： 1994年10月05日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】 プログラムする必要がなく簡単な構成の半導体ウェーハ製造過程表示装置を得ること。【構成】 論理回路が製造設備からの信号を用いて黄、赤、緑のランプの駆動を制御する。設備にウェーハを入れてもよいとき黄ランプを連続点灯させ、設備からウェーハを取出してよいとき黄ランプを点滅させる。警報状態のとき赤ランプを点滅させ、設備が中断モードにあるとき赤ランプを連続点灯させる。論理回路はまた、処理が行われているとき緑ランプを点灯させる。
請求項（抜粋）：
半導体ウェーハ製造過程の状態を表示する装置であって、ウェーハが室内にあるかどうか又は該室が空いているかどうかに応じ、且つ、該室が大気圧にあるかどうか又は該室が真空まで減圧されているかどうかに応じて変化する第1の信号を発生するカセット論理回路と、上記カセット論理回路に接続され、上記第1信号を受信し、上記室がウェーハを受入れる態勢にあるとき第1の表示器を連続的に駆動し、上記第1信号が上記室からウェーハが取出される態勢にあることを示すとき、上記第1の表示器を断続的に駆動する第1表示器論理回路と、警報信号を受信したとき第2の表示器を断続的に駆動し、上記製造過程が中断モードに置かれているとき上記第2の表示器を連続的に駆動する第2表示器論理回路と、上記室内のウェーハが処理されているとき、第3の表示器を連続的に駆動する第3表示器論理回路とを具え、上記第2表示器論理回路は、上記第1表示器論理回路及び上記第3表示器論理回路に接続され、上記第2表示器論理回路が上記警報信号を受信したときは常に、上記第1表示器論理回路及び上記第3表示器論理回路による上記第1及び第3表示器の駆動を阻止するようにされた半導体ウェーハ製造過程表示装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 17/00
, H01L 21/02
