特許

J-GLOBAL ID：200903074785127306

電子ビーム露光装置及び電子ビームの制御方法

発明者： 西村 勲
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-275821
公開番号（公開出願番号）：特開平5-114376
出願日： 1991年10月23日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：

【要約】【目的】 本発明は電子ビーム露光装置の改善に関し、段差状マーク走査によって得られる検出レベル差を評価値とし、その補正前後に変化をする評価値を補正終了条件に取り入れ、該補正データの信頼性を高め、そのビーム偏向収差の補正処理を正確にし、高精度な描画処理を行うことを目的とする。【構成】 被照射対象18に電子ビーム11Aを照射する電子発生源11と、前記電子ビーム11Aを偏向する偏向手段12と、前記被照射対象18に設けられた段差状マークMを検出する検出手段13と、前記電子ビーム11Aの偏向収差を補正する偏向収差補正手段14と、前記被照射対象18を移動する移動手段15と、前記電子発生源11,偏向手段12,検出手段13,偏向収差補正手段14及び移動手段15の入出力を制御する制御手段16とを具備し、前記制御手段16が、少なくとも、補正前後の段差検出信号Sを信号処理した段差検出データD1により、前記電子ビーム11Aの偏向収差を補正する補正データD2やDRを決定することを含み構成する。

請求項（抜粋）：

被照射対象(18)に電子ビーム(11A)を照射する電子発生源(11)と、前記電子ビーム(11A)を偏向する偏向手段(12)と、前記被照射対象(18)に設けられた段差状マーク(M)を検出する検出手段(13)と、前記電子ビーム(11A)の偏向収差を補正する偏向収差補正手段(14)と、前記被照射対象(18)を移動する移動手段(15)と、前記電子発生源(11),偏向手段(12),検出手段(13),偏向収差補正手段(14)及び移動手段(15)の入出力を制御する制御手段(16)とを具備し、前記制御手段(16)が、少なくとも、補正前後の段差検出信号(S)を信号処理した段差検出データ(D1)により、前記電子ビーム(11A)の偏向収差を補正する補正データ(D2やDR)を決定することを特徴とする電子ビーム露光装置。

IPC (6件)：

H01J 37/153 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/30 341 Z ,  H01L 21/30 341 B ,  H01L 21/30 341 K