特許

J-GLOBAL ID：200903074786186772

ペリクル

発明者： 櫻井 郁男 ,  樫田 周
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-154634
公開番号（公開出願番号）：特開2000-347388
出願日： 1999年06月02日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】【課題】 短波長の露光光に対して、透過率劣化の進行を遅らせることができるペリクル膜を備えたペリクルを提供する。【解決手段】 このペリクルは、ペリクル膜の平均膜厚が、このペリクル膜の膜厚と透過率との相関曲線における透過率極大値に対応する厚さよりも厚く設けられていることを特徴としている。なかでもフッ素樹脂からなるペリクル膜が好ましく、波長248nmのフッ化クリプトンエキシマレーザー光や、波長193nmのフッ化アルゴンエキシマレーザー光の露光光に対して使用することができる。

請求項（抜粋）：

ペリクル膜の平均膜厚が、このペリクル膜の膜厚と透過率との相関曲線における透過率極大値に対応する厚さよりも厚く設けられていることを特徴とするペリクル。

IPC (2件)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 1/14 J ,  H01L 21/30 502 P

Fターム (3件)：

2H095BA07 ,  2H095BC32 ,  2H095BC33

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ペリクル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-334149   出願人：信越化学工業株式会社

審査官引用 (1件)

• ペリクル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-334149   出願人：信越化学工業株式会社