特許

J-GLOBAL ID：200903074786497972

ターボ分子ポンプ

発明者： 川口 重一 ,  西川 秀人
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-274571
公開番号（公開出願番号）：特開平8-100787
出願日： 1990年12月14日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：

【要約】【課題】 排気運転に発熱を伴うターボ分子ポンプであって、軸受の過加熱を防止する冷却手段からの冷熱の伝達により、ポンプ内の領域Aにプロセスガスによる反応生成物が付着・堆積するのを防止する。【解決手段】 領域A、即ちロータ7の下端7cを含む内周7a・外周7bからそれらの対向面にかけての領域を測温するセンサ23と、軸受4、5を冷却する冷却手段22と、前記センサ23からの検出値に基づいてそれが排気ガス中の物質の固化温度以上であって且つ軸受4、5が保護される温度に維持されるように冷却手段22を制御する制御手段24とを設け、冷却手段22によって軸受4、5を冷却することにより軸受4、5を焼損等から保護すると共に、この冷却手段22からの冷熱の伝導によって領域Aが固相温度以下に冷却されて反応生成物が領域Aに付着することを防止する。

請求項（抜粋）：

ケーシングと、このケーシングを支持するベースと、前記ケーシング内にあって前記ベースに固設されたモータハウジングと、このモータハウジング内に装着した軸受を介して支承されたシャフトと、このシャフトに一体回転可能に固着され内周に前記モータハウジングを収容してなるロータと、このロータの外周と前記ケーシングの内周との間に構成されたポンプ機構とを具備してなるターボ分子ポンプにおいて、前記ロータの下端を含む内周/外周からそれらの対向面にかけての領域の温度を検出するセンサと、前記軸受を冷却可能な冷却手段と、前記センサからの検出値に基づいてそれが排気ガス中の物質の固化温度以上であって且つ軸受が保護される温度に維持されるように前記冷却手段を制御する制御手段とを設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。

IPC (2件)：

F04D 19/04 ,  F04D 29/58

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-070994
  
• 特開昭55-091796
  
• 特開昭64-019198