特許
J-GLOBAL ID:200903074793315812
走査露光装置、走査露光装置の生産方法及び走査露光方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-254667
公開番号(公開出願番号):特開平10-100473
出願日: 1996年09月26日
公開日(公表日): 1998年04月21日
要約:
【要約】【課題】 装置を小型化でき、装置を安価にでき、感光材料に対して十分な光量が得られ、装置の構造を簡単にでき、感光材料に傷を付けず、感光材料がジャムる可能性が低く、焦点ボケのない良好な露光ができるようにすること。【解決手段】 外部に結像する露光アレイと、前記露光アレイにより露光される感光材料を搬送する搬送手段とを有する走査露光装置において、前記搬送手段により搬送される感光材料と前記露光アレイとの間の位置に、前記搬送手段により搬送される感光材料と密接する透明板を有し、前記露光アレイと前記透明板との間に空間が存在する。
請求項(抜粋):
外部に結像する露光アレイと、前記露光アレイにより露光される感光材料を搬送する搬送手段とを有する走査露光装置において、前記搬送手段により搬送される感光材料と前記露光アレイとの間の位置に、前記搬送手段により搬送される感光材料と密接する透明板を有し、前記露光アレイと前記透明板との間に空間が存在することを特徴とする走査露光装置。
IPC (6件):
B41J 2/44
, B41J 2/45
, B41J 2/455
, G03B 27/50
, H04N 1/00 108
, H04N 1/036
FI (5件):
B41J 3/00 D
, G03B 27/50 D
, H04N 1/00 108 Q
, H04N 1/036 A
, B41J 3/21 L
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