特許
J-GLOBAL ID:200903074801039641

空気調和装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 京本 直樹 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-013134
公開番号(公開出願番号):特開平8-200738
出願日: 1995年01月30日
公開日(公表日): 1996年08月06日
要約:
【要約】【目的】半導体製造に関わるクリーンルームの空気調和装置において、消費される冷却・加熱エネルギを省力化し、外部代替エネルギを使用せず、冷却・加熱と相反するエネルギの活用により、最大値エネ効果率約25%の省力化を図る。【構成】特に中間期・冬期間の空気調和において、従来の外気導入経路1に加え、空気調和機3への還り空気経路7より分岐した経路ダクト15を外気調和機2に設けることにより、外気調和機2の導入口では、導入外気と還り空気とのミキシング効果により相殺し合い、外気調和のためのエネルギが著しく低減される。また内部発熱負荷を含む還り空気の一部を外気調和機2に分岐することにより、空気調和機3で調和するための絶対量が減少する。これに比例し、調和エネルギが低減される。
請求項(抜粋):
経時的に変化する外気を調和する外気調和機と、この外気調和機にて調和された外気とクリーンルーム内の内部発熱とを調和する空気調和機と、前記クリーンルーム内の清浄空気を循環するファンとを備えた空気調和装置において、前記クリーンルームから前記外気調和機へ還気する経路ダクトを設けたことを特徴とする空気調和装置。
IPC (2件):
F24F 3/16 ,  F24F 7/06
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 冷房用空気調和方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平3-202584   出願人:日立プラント建設株式会社
  • 特開昭58-016136
  • 特開昭56-146940

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