特許

J-GLOBAL ID：200903074806116660

X線検査装置およびX線検査方法

発明者： 深町 哲昭
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
代理人 (2件)： 小川 勝男 ,  田中 恭助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-202177
公開番号（公開出願番号）：特開2005-043171
出願日： 2003年07月28日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：

【課題】検査視野内に輝度レベルの異なる部分が存在する場合、検出すべき欠陥が正しく検出できない場合があり、また、2値化レベルをその都度調節する等の煩雑な処理が必要になる。これを解決するために欠陥を確実に検出できるX線検査装置およびX線検査方法を提供することである。【解決手段】X線透過像を用いて試料の欠陥を検出するX線検査方法において、上記試料の検査ウインドを設定するステップおよび上記検査ウインド内の上記X線透過像の輝度信号レベルに基づいて少なくとも第1と第2の2回の2値化処理を行なうステップからなり、上記第2の2値化処理は、上記第1の2値化処理に基づいて定められた領域内で2値化処理が行われるように構成される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

X線透過像を用いて試料の欠陥を検出するX線検査方法において、上記試料の検査ウインドを設定するステップおよび上記検査ウインド内の上記X線透過像の輝度信号レベルに基づいて少なくとも第1と第2の2回の2値化処理を行なうステップからなり、上記第2の2値化処理は、上記第1の2値化処理に基づいて定められた領域内で2値化処理が行われることを特徴とするX線検査方法。

IPC (1件)：

G01N23/04

FI (1件)：

G01N23/04

Fターム (22件)：

2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA09 ,  2G001GA07 ,  2G001GA08 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001JA06 ,  2G001JA07 ,  2G001JA11 ,  2G001JA16 ,  2G001KA03 ,  2G001KA04 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001NA13 ,  2G001NA15 ,  2G001PA07 ,  2G001PA11 ,  2G001PA14