特許
J-GLOBAL ID：200903074827740380
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蔵合 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-004560
公開番号（公開出願番号）：特開2000-205860
出願日： 1999年01月11日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：
【要約】【課題】 小型化と性能の向上、及びローコスト化等を図ることができる角速度センサを提供する。【解決手段】 平板状の圧電体24と駆動及び検出用の電極25を有して平面状に形成さている駆動振動面26を設けた振動部30と、駆動振動面26に対して垂直な状態で一端側が振動部30固定されている1軸の恒弾性金属円柱21とを設けてなる振動子20を設けた。これによれば、平面状の圧電体24や電極25を形成するので作り易く、かつ1軸の恒弾性金属円柱21の特徴である無調整、小型、高感度も含め、小型、性能、安価を同時に満足できる。
請求項（抜粋）：
平板状の圧電体と駆動及び検出用の電極を有して平面状に形成されている駆動振動面を設けた振動部と、前記駆動振動面に対して垂直な状態で一端側が前記振動部に固定されている1軸の恒弾性金属円柱とを設けてなる振動子を備えたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
2F105AA01
, 2F105BB13
, 2F105BB15
, 2F105CC08
, 2F105CC20
, 2F105CD01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
