特許

J-GLOBAL ID：200903074832849153

マイクロアクチュエータ及びその製造方法

発明者： 藤田 博之 ,  小林 大 ,  三田 信 ,  天坂 祥一
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 平山 一幸 (外1名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2001002119
公開番号（公開出願番号）：WO2001-068512
出願日： 2001年03月16日
公開日（公表日）： 2001年09月20日
要約：

【要約】個別に組み立てる必要がなく、極めて小型にできる、静電駆動される可動マスを駆動源に持つ自走型インパクトアクチュエータであって、台座部(14)に固定した固定部(1)と、固定部に一端を固定した弾性支持梁(2)と、弾性支持梁の他端に固着した可動マス(3)と、台座部に固定し且つ可動マスと間隔をおいて配設した駆動電極(4)及びストッパー(5)と、可動マスと駆動電極との間に電圧を印加する電源回路(9)とを含み、電源回路(9)のONにより駆動電極(4)と可動マス(3)との間に静電引力を発生させて可動マスをストッパー(5)に衝突させ、その時の運動エネルギーを外枠(6)に伝え、その後の電源回路(9)のOFFにより静電引力を消滅させて可動マス(3)を弾性支持梁(2)の弾力により元の位置に戻し、その時発生する慣性力を外枠(6)に伝え、部材全部を所定方向に運動させるようにした静電インパクト機構を用いたマイクロアクチュエータである。

請求項（抜粋）：

外枠と、台座部と、蓋部とからなる密閉容器を有し、この密閉容器中に、弾性支持梁と、この弾性支持梁の一端を固定し且つ前記台座部に固定する固定部と、前記弾性支持梁の他端に固定した可動マスと、前記台座部に固定し且つ前記可動マスと間隔をおいて配設する駆動電極及びストッパーとを有し、前記密閉容器の内部又は外部に配置され、前記可動マスと前記駆動電極との間に電圧を印加する電源回路とを有し、 前記電源回路をONにして、前記駆動電極と前記可動マスとの間に静電引力を発生させて可動マスを前記ストッパーに衝突させ、その時の運動エネルギーを前記密閉容器に伝え、その後の前記電源回路のOFFにより該静電引力を消滅させて可動マスを前記弾性支持梁の弾力により元の位置に戻し、その時発生する反作用力を前記密閉容器に伝え、前記部材全体を所定方向に運動せしめるようにした、静電インパクト機構を用いたマイクロアクチュエータ。

IPC (1件)：

B81B 5/00