特許

J-GLOBAL ID：200903074837467950

洗浄装置及び圧電デバイスの製造方法

発明者： 永田 哲章
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-068324
公開番号（公開出願番号）：特開2004-281543
出願日： 2003年03月13日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

【課題】洗浄効率が良く、洗浄液等の消耗を低減して、洗浄コストを低く抑えることができる洗浄装置と、この洗浄装置を利用した圧電デバイスの製造方法を提供すること。【解決手段】移動のためのガイド手段21に沿って洗浄工程順に配置される複数の洗浄槽31,41,42,43,44に対応して設けられた複数のアーム22,23,24,25と、前記各アームに設けられ、各アームが対応した前記洗浄槽の上の位置に移動した際に、この洗浄槽の深さ方向に移動される被洗浄物の保持手段34と、前記各アームにそれぞれ設けられ、前記保持手段よりも上の位置で前記洗浄槽の開口を塞ぐための開閉自在の蓋体27とを備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

移動のためのガイド手段に沿って洗浄工程順に配置される複数の洗浄槽に対応して設けられた複数のアームと、 前記各アームに設けられ、各アームが対応した前記洗浄槽の上の位置に移動した際に、この洗浄槽の深さ方向に移動される被洗浄物の保持手段と、 前記各アームにそれぞれ設けられ、前記保持手段よりも上の位置で前記洗浄槽の開口を塞ぐための開閉自在の蓋体と を備えることを特徴とする、洗浄装置。

IPC (4件)：

H01L21/304 ,  B08B3/04 ,  H01L41/09 ,  H01L41/22

FI (6件)：

H01L21/304 642D ,  H01L21/304 642E ,  H01L21/304 648A ,  B08B3/04 B ,  H01L41/08 C ,  H01L41/22 Z

Fターム (9件)：

3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB02 ,  3B201AB34 ,  3B201AB44 ,  3B201BB02 ,  3B201BB93 ,  3B201BB94 ,  3B201CD43