特許
J-GLOBAL ID：200903074837710382
プラズマ生成用ホローカソード
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-352673
公開番号（公開出願番号）：特開平10-168563
出願日： 1996年12月12日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：
【要約】【課題】 放電電流を400Aにおいて500時間以上の放電が可能なプラズマ生成用ホローカソードを提供すること。【解決手段】 外層としての、底面の中心部に開口44を有する有底のTaチューブ45と、内層としてのLaB6 円筒41とからなる2層構造の円筒状体で、かつLaB6 円筒41の内表面積を8cm2 以上、肉厚を3mm以上としたものをTaパイプ36の先端部に取り付けてホローカソード17とする。
請求項（抜粋）：
ホローカソード放電による金属の溶融ないしは蒸発に使用するための、高融点金属からなる外層と、前記高融点金属よりは仕事関数が小さい熱電子放出材料からなる内層とによって構成される中空のプラズマ生成用ホローカソードであって、前記熱電子放出材料からなる内層が円筒状に形成されていることを特徴とするプラズマ生成用ホローカソード。
引用特許：
引用文献：
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