特許

J-GLOBAL ID：200903074838009246

磁気抵抗素子を備えた磁気ヘッドの製造方法および前記方法によって得られるヘッド

発明者： ジャン-ピエール ラザリ ,  エリク ジャラギエ
出願人/特許権者： シルマ
代理人 (1件)： 山本 恵一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-084624
公開番号（公開出願番号）：特開平10-083522
出願日： 1997年03月19日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：

【要約】【課題】 磁気ヘッドの製造方法および前記方法で得られるヘッド。【解決手段】 非磁性スペーサの下部であって、かつ柱状片(721 、722 )の間に磁気抵抗素子(MR)を配置する。磁気記録に利用する。

請求項（抜粋）：

磁気回路部分(14、161 、162 )を備えるサブアセンブリを前もって作製する磁気ヘッド製造方法であって、- 前記サブアセンブリ上に、第1の金属層(42)、第1の絶縁層(42)、磁気抵抗層(43)、第2の絶縁層(44)、および最後に第2の金属層(45)を順次付着させてスタック(40)を形成する段階と、- 少なくとも非磁性スペーサ(60、86)を1つ備える絶縁壁部(60、84、86、88)を前記スタック(40)の上に形成する段階と、- バリア層と見なすことができる第1の金属層(41)に達するまで、前記壁部をマスクとしてスタック(40)にエッチングを行い、第1の金属層(41)および壁部の下に、第1の絶縁テープ(64)および第2の絶縁テープ(66)の間に挿入された磁気抵抗素子(MR)を備えるエッチング済みスタック(62、90)を残す段階と、- 非磁性スペーサ(60、86)で分離された2つの柱状片(721 、722)および(1041 、1042 )から成る上部磁性片を、残りの第1の金属層(41)を電極として電解成長により形成すると、磁気抵抗素子(MR)が前記スペーサ(60、86)と自動的に一直線状に配置され、2つの柱状片(721 、722 )および(1041 、1042 )の間に挿入される段階とを経ることを特徴とする磁気ヘッド製造方法。