特許

J-GLOBAL ID：200903074852344570

受光素子、回路内蔵型受光装置および光ディスク装置

発明者： 谷 善彦 ,  林田 茂樹 ,  森岡 達也 ,  大久保 勇 ,  和田 秀夫
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-021130
公開番号（公開出願番号）：特開2003-224250
出願日： 2002年01月30日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：

【要約】【課題】 樹脂をコーティングした場合と配置しない場合とで、入射光に対する反射率が比較的小さく、かつ反射率の差が比較的小さい受光素子を提供すること。【解決手段】 N型拡散層103上に、屈折率n1の第1シリコン酸化層105と、屈折率n2の第1シリコン窒化層106と、屈折率n3の第2シリコン酸化層107と、屈折率n4の第2シリコン窒化層108とからなる反射防止膜109を備える。入射光の波長がλnmであるとして、第1シリコン酸化層105の厚みをλ/(25・n1)nm以上λ/(11・n1)nm以下にすることによって、反射防止膜109上に樹脂を配置した場合と樹脂を配置しない場合とで、入射光に対する反射率の差を5%以下にする。樹脂の有無に応じて、受光素子の信号処理回路の構成を変える必要がない。

請求項（抜粋）：

光が入射する領域に、反射防止膜を有する受光素子において、上記反射防止膜は、この反射防止膜上に屈折率が1.5以上1.6以下の樹脂を配置した場合、入射光に対する上記反射防止膜および上記樹脂の反射率と、入射光に対する上記反射防止膜のみの反射率との差が5%以下になるような反射防止膜であることを特徴とする受光素子。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  H01L 31/10

FI (3件)：

H01L 27/14 D ,  H01L 27/14 Z ,  H01L 31/10 A

Fターム (13件)：

4M118AA10 ,  4M118AB10 ,  4M118BA06 ,  4M118CA03 ,  4M118CA33 ,  4M118CA34 ,  4M118CB13 ,  5F049MA02 ,  5F049MA04 ,  5F049MB03 ,  5F049NA04 ,  5F049NB08 ,  5F049SZ03