特許

J-GLOBAL ID：200903074854974210

レーザ装置

発明者： 渡邊 良哉
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 強 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-182161
公開番号（公開出願番号）：特開平6-029607
出願日： 1992年07月09日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：

【要約】【目的】 簡単且つ安価な構成でレーザ光出力を設定値どおりに得られるように励起出力を制御する。【構成】 共振器1の放電電極2,3には高圧電源装置4から励起出力が与えられる。高圧電源装置4および共振器1は冷却装置5により一定温度に保持される。高圧電源装置4および冷却装置5は、制御装置6により駆動制御される。光センサ7は共振器1から出力されるレーザ光の強度を検出して制御装置6に検出信号を与える。制御装置6は、電源投入時に立ち上げ処理を行った後、一定時間だけ所定励起出力で運転を行った後に、初期設定動作としての自動出力較正を実施する。これにより、自動出力較正は、レーザ光出力が安定領域に入ってから実施されるので、励起出力に対応した正確な値として得られる。

請求項（抜粋）：

レーザ光出力を検出する検出手段と、電源投入後に初期設定動作を行なってレーザ媒質の励起出力に対応した前記検出手段によるレーザ光出力を測定して換算値を算出しその結果に基づいてレーザ光出力が設定値となるように前記励起出力を制御する制御装置とを有するレーザ装置において、前記制御装置は、前記電源の投入時から一定時間だけ所定励起出力で運転した後に前記初期設定動作を実施することを特徴とするレーザ装置。