特許

J-GLOBAL ID：200903074858255634

顕微鏡付レーザ加工装置

発明者： 野母 文佳
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-328927
公開番号（公開出願番号）：特開2000-153386
出願日： 1998年11月19日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：

【要約】【課題】 被加工物に対するレーザ加工によって加工屑が発生しても、その加工屑の除去を可能にすることにより、加工不良等が発生することがなく生産性向上を実現できるようにする。【解決手段】 被加工物が載置される試料台1と、その上方に設けられた対物レンズを介して前記被加工物を視認するための顕微鏡と、その視認結果を基に前記被加工物にレーザ光を用いた加工を行うレーザ加工手段6とを具備する顕微鏡付レーザ加工装置において、前記試料台1を第一電位に帯電させる第一帯電手段2と、前記対物レンズ3の周囲に設けられた吸着面4と、この吸着面2を前記第一電位とは異なる極性の第二電位に帯電させる第二帯電手段5とを設ける。

請求項（抜粋）：

被加工物が載置される試料台と、前記試料台の上方に設けられた対物レンズを介して前記試料台上に載置された被加工物を視認するための顕微鏡と、前記顕微鏡での視認結果を基に前記試料台上の被加工物にレーザ光を用いた加工を行うレーザ加工手段とを具備する顕微鏡付レーザ加工装置において、前記試料台を第一電位に帯電させる第一帯電手段と、前記対物レンズの周囲に設けられた吸着面と、前記吸着面を前記第一電位とは異なる極性の第二電位に帯電させる第二帯電手段とを備えることを特徴とする顕微鏡付レーザ加工装置。

IPC (4件)：

B23K 26/16 ,  B23K 26/02 ,  B23K 26/14 ,  H01L 21/3065

FI (4件)：

B23K 26/16 ,  B23K 26/02 C ,  B23K 26/14 A ,  H01L 21/302 B

Fターム (12件)：

4E068CG02 ,  4E068CG04 ,  4E068CH08 ,  4E068DA10 ,  5F004AA09 ,  5F004BA20 ,  5F004BB03 ,  5F004BB32 ,  5F004BC08 ,  5F004BD07 ,  5F004DB01 ,  5F004EB02