特許
J-GLOBAL ID：200903074860177284
薬液用配管と薬液供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-165308
公開番号（公開出願番号）：特開平6-077122
出願日： 1993年07月05日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】 レジスト薬液等の薬液供給でゲル状異物を効果的に除去する。【構成】 はじめに制御弁18と制御弁20は閉じられている。レジストボトル内のレジスト液は、ポンプ装置12に吸引され、フィルターハウジング内に圧送される。この時の供給量は2.5mlであり、濾過レートは、0.1ml/秒である。濾過されたレジスト液は、伸縮性予備室16に充填される。伸縮性予備室16密閉容器15内の圧力によって加圧状態になる。レジスト液の対象物への供給は、制御弁18を開くことによって行われ、2秒間で2mlのレジスト液がレジストノズル19から放出される。伸縮性予備室16に残ったポンプ装置12の供給量と対象物への供給量の差分は、制御弁20を開くことで、フィルターエレメント14を逆方向に通過して排出ノズル21より排出される。
請求項（抜粋）：
2つの導電膜に挟まれた誘電体からなる振動フィルムと、前記振動フィルムで外被を覆われた薬液を供給する第一のチューブと、前記振動フィルムの外表面を覆う第二のチューブと、前記第二のチューブの周囲を温調水で満たす第三のチューブを備えることを特徴とする薬液用配管。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, B05B 15/04 104
, G03F 7/16 501
