特許

J-GLOBAL ID：200903074862553836

レジスト塗布装置

発明者： 二渡 智雄
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-054067
公開番号（公開出願番号）：特開2000-246164
出願日： 1999年03月02日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
要約：

【要約】【課題】 レジストの吐出不良を防止し、これにより製品歩留りの低下や生産性の低下を防止した、レジスト塗布装置の提供が望まれている。【解決手段】 レジスト供給源2のレジストを送出機3によってレジストノズル6より吐出させ、レジストをウエハ5上に塗布するレジスト塗布装置10である。レジスト供給源2からレジストノズル6を通ってウエハ4上に供給されたレジストの吐出量を求める吐出量感知センサ11と、このレジスト吐出量が予め設定した設定値より少ない場合に、このときのレジストの吐出量と吐出時間からその単位時間あたりの吐出量を求め、さらにこの単位時間あたりの吐出量で再吐出した場合に、設定値より少ない分のレジスト量を吐出するのに必要な時間を求め、得られた時間送出機3に再吐出を行わせる制御部12と、を備えている。

請求項（抜粋）：

レジスト供給源のレジストを送出機によってレジストノズルより吐出させ、該レジストをウエハ上に塗布するレジスト塗布装置であって、レジスト供給源からレジストノズルを通ってウエハ上に供給されたレジストの吐出量を求める吐出量感知センサと、このレジスト吐出量が予め設定した設定値より少ない場合に、このときのレジストの吐出量と吐出時間からその単位時間あたりの吐出量を求め、さらにこの単位時間あたりの吐出量で再吐出した場合に、前記設定値より少ない分のレジスト量を吐出するのに必要な時間を求め、得られた時間前記送出機に再吐出を行わせる制御部と、を備えたことを特徴とするレジスト塗布装置。

IPC (4件)：

B05C 11/10 ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

B05C 11/10 ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/30 564 C

Fターム (8件)：

2H025AA00 ,  2H025AB13 ,  2H025AB16 ,  2H025EA05 ,  4F042BA12 ,  4F042DH02 ,  4F042EB17 ,  5F046JA01