半導体レーザーを用いた水分分析装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-260859
公開番号（公開出願番号）：特開平5-099845
出願日： 1991年10月08日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：

【要約】【構成】測定ガスを導入した多重光路ガスセル1および純水分に調整したリファレンス用セル15に、室温で波長1.3〜1.55μm帯で発振するInGaAsP系のDFB半導体レーザ4を用いてレーザ光をそれぞれ透過させ、水分の吸収ピーク強度を室温で1.3〜1.55μm帯に感度を有するGe光検出器M、Rを用いて検出する。二波長差分吸収法を用いて水分を測定する。【効果】ガス中の水分を室温で、高精度に測定できる。装置を小型化でき、簡便かつ迅速に測定できる。

請求項（抜粋）：

室温で波長1.3〜1.55μm帯で発振する波長可変半導体レーザーと、ここから発振されたレーザー光を分岐して測定用ガスセルに導き、しかるのち測定用光検出器に送り込む測定ラインと、上記レーザー光を分岐してリファレンス用セルに導き、しかるのちリファレンス用光検出器に送り込むリファレンスラインと、上記レーザー光を分岐してパワーモニター用光検出器に送り込むパワーモニターラインを具備し、上記各検出器として室温で1.3〜1.55μm帯に感度を有する光検出器を用いたことを特徴とする半導体レーザーを用いた水分分析装置。

IPC (2件)：

G01N 21/39 , G01N 21/35

引用特許：

審査官引用 (20件)

特開昭64-073239
特開昭64-073239
特表平3-505782

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