特許

J-GLOBAL ID：200903074882512958

静電アクチユエータ

発明者： 杉浦 賢
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-232084
公開番号（公開出願番号）：特開平5-076187
出願日： 1991年09月12日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：

【要約】【目的】ばねの伸縮範囲に制限されることなく、かつ摩擦抵抗などを加えることなしに移動子を定方向へ大きな変位量で歩進駆動できるようにした超小形の静電アクチュエータを提供する。【構成】移動子1と、移動子を挟んでその両側に間隙を隔てて対向する固定子2, および搬送子3と、搬送子を移動子の駆動方向と平行に振動させる静電振動子4と、該振動子の駆動,および移動子を固定子および搬送子へ交互に吸着させる静電吸着手段として電源5,スイッチング素子6,7などを備えて構成し、搬送子の振動動作と、この振動動作に同期して移動子を固定子, 搬送子へ交互に吸い寄せる吸着動作とを組合わせて移動子を定方向に歩進駆動させる。

請求項（抜粋）：

静電力を駆動源として移動子を定方向に歩進駆動させる静電アクチュエータであって、移動子と、移動子を挟んでその両側に間隙を隔てて対向する固定子, および搬送子と、搬送子を移動子の駆動方向と平行に振動させる静電式振動手段と、移動子を固定子および搬送子へ交互に吸着させる静電式吸着手段とを有し、搬送子の振動動作と、この振動動作に同期して移動子を固定子, 搬送子へ交互に吸い寄せる吸着動作とを組合わせて移動子を定方向に歩進駆動することを特徴とする静電アクチュエータ。