特許
J-GLOBAL ID：200903074906266244
移動ステージ機構およびこれを用いた露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-324965
公開番号（公開出願番号）：特開平7-183192
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：
【要約】【目的】 ステージの移動速度および位置決め精度を向上することができ、発熱が低減され、信頼性の高い移動機構を実現すること。【構成】 ステージを移動する推力を発生する第1及び第2のアクチュエータユニットと、前記第1のアクチュエータユニットによる推力のステージへの伝達状態を制御するためのクラッチとを有し、前記第2のアクチュエータユニットおよびクラッチは、第1のアクチュエータユニットとステージとの間に並列に設けられていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ステージを移動する推力を発生する第1及び第2のアクチュエータユニットと、前記第1のアクチュエータユニットによる推力のステージへの伝達状態を制御するためのクラッチとを有し、前記第2のアクチュエータユニットおよびクラッチは、第1のアクチュエータユニットとステージとの間に並列に設けられていることを特徴とする移動ステージ機構。
IPC (2件)：
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