特許
J-GLOBAL ID：200903074908060627
走査型プローブ顕微鏡とその探針製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-017455
公開番号（公開出願番号）：特開平5-215509
出願日： 1992年02月03日
公開日（公表日）： 1993年08月24日
要約：
【要約】【目的】本発明の目的は、走査型プローブ顕微鏡の走査する時間を短縮すること。【構成】走査型プローブ顕微鏡の探針を複数個、同時に走査する。複数の探針とこれに対向する固体表面上に配置された所定の原子の有無によって、固体表面上に記録および読み出しをする。
請求項（抜粋）：
固体表面上に複数の探針を形成するとともに、これらを一つの駆動体で同時に移動させることことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 7/34
, H01J 9/14
, H01J 37/28
