ポジ型レジスト組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小栗昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-112257
公開番号（公開出願番号）：特開2003-307850
出願日： 2002年04月15日
公開日（公表日）： 2003年10月31日
要約：

【要約】【課題】 160nm以下、特にF2エキシマレーザー光(157nm)の露光光源の使用に好適なポジ型レジスト組成物を提供することであり、具体的には157nmの光源使用時に十分な透過性を示し、ラインエッジラフネスが発生し難く、レジスト膜に露光して現像処理をした後に露光領域に残膜が発生し難いポジ型レジスト組成物を提供する。【解決手段】 (A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する、特定の化合物、(B)特定の繰り返し単位を有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂及び(C)溶剤を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。

請求項（抜粋）：

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する、下記一般式(Ia)又は(IIb)で表される化合物、(B)下記一般式(I)〜(VI)で表される繰り返し単位から選ばれる少なくとも1種の繰り返し単位を有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂及び(C)溶剤を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。【化1】一般式(Ia)及び(IIb)に於いて、R1〜R5は、各々独立に、置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素基又は置換基を有していてもよい芳香族炭化水素基を表す。但し、R1〜R3の内の2個は、互いに結合して環を形成してもよく、また、R4とR5とは、互いに結合して環を形成してもよい。X-は、下記のアニオンのいずれかを表す。【化2】上記X-に於いて、R6〜R10は、各々独立に、置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素基を表す。但し、R6とR7とは、互いに結合して環を形成してもよく、また、R8〜R10の内の2個は、互いに結合して環を形成してもよい。【化3】【化4】【化5】一般式(I)及び(II)に於いて、mは、0又は1を表す。一般式(I)及び(IV)〜(VI)に於いて、Xは、水素原子又は酸の作用により分解する基を表す。一般式(I)に於いて、R11〜R16は、各々独立に、水素原子、フッ素原子、又はフルオロアルキル基を表すが、少なくとも一つは水素原子ではない。一般式(II)に於いて、R3aは、水素原子又は酸の作用により分解する基を表す。一般式(III)に於いて、R4aは、水素原子又は酸の作用により分解する基を表す。一般式(IV)に於いて、R21〜R32は、各々独立に、水素原子、フッ素原子、又はフルオロアルキル基を表すが、少なくとも一つは水素原子ではない。一般式(V)及び(VI)に於いて、R1a及びR2aは、水素原子、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、シアノ基、又はトリフルオロメチル基を表す。R41〜R46及びR51〜R56は、各々独立に、水素原子、フッ素原子、又はフルオロアルキル基を表すが、R41〜R46のうちの少なくとも一つ及びR51〜R56のうちの少なくとも1つは水素原子ではない。nは、1〜5の整数を表す。

IPC (8件)：

G03F 7/039 601 , C08F 12/14 , C08F 16/22 , C08F 20/22 , C08F 20/26 , C08F 32/04 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (8件)：

G03F 7/039 601 , C08F 12/14 , C08F 16/22 , C08F 20/22 , C08F 20/26 , C08F 32/04 , G03F 7/004 503 A , H01L 21/30 502 R

Fターム (35件)：

2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB08 , 2H025CB14 , 2H025CB16 , 2H025CB41 , 2H025CB45 , 2H025CC04 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 4J100AA20 , 4J100AB07 , 4J100AL08 , 4J100AR09 , 4J100AR11 , 4J100BA02 , 4J100BA03 , 4J100BA04 , 4J100BA05 , 4J100BA06 , 4J100BA15 , 4J100BA16 , 4J100BB18 , 4J100BC04 , 4J100BC09 , 4J100CA01 , 4J100JA38

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