特許

J-GLOBAL ID：200903074921920520

加速度計

発明者： スティーヴン・エドワード・スタラー ,  デーヴィッド・ウィリアム・デ・ロー
出願人/特許権者： デルコ・エレクトロニクス・コーポレーション
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-327436
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322917
出願日： 1991年12月11日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 三つのシリコンウエファー間の結合が広い温度範囲に亙って比較的低い残留応力を持つようにすることによって加速度を検出する電子手段を保護し、計器としての加速度計の性能を改善する。【構成】 加速度計の品質に劣化を与えずに比較的低い温度でシリコンベースの接着剤を用いて結合26,28を形成することによって結合中の残留応力を低い水準に保つと共に、三つのシリコンウエファー間に設けられた結合を加速度計の使用中又はバッケージング中の応力解放手段として役立たせる。シリコン支持体14の前面と後面上に設けられた窪み領域38,40が塊部12の撓みを受け入れる空間を与え、支持体カラム34,36によって限定される空間がミクロ加速度計の測定用塊部12の制動距離を正確にコントロールし、更に加速度に起因して塊部12に生ずる過度の撓みをプレート上の停止部材42,44によって防止する。

請求項（抜粋）：

実質的に互いに平行な第一の表面と第二の表面(16,18)を含むシリコン支持体(14);シリコン支持体内に形成され、支持体から懸垂されるように適合された塊部(12);シリコン支持体と接触するように適合され、シリコン支持体から塊部が懸垂されるように第一のシリコンプレートとシリコン支持体の間にある第一の支持体カラムによって間隙が与えられるようにシリコン支持体の第一の表面に接着された第一のカラム(34)、及び第一のシリコンプレートと塊部間の空間よりも小さい量だけ塊部から間隔を置いた第一の停止部材(42)から構成される第一のシリコーンプレート(30);シリコン支持体と接触するように適合され、シリコン支持体から塊部が懸垂されるように第二のシリコンプレートとシリコン支持体の間にある第二の支持体カラムによって間隙が与えられるようにシリコン支持体の第二の表面(18)に接着された第二の支持体カラム(36)、及び第二のシリコンプレートと塊部間の空間よりも小さい量だけ塊部から間隔を置いた第二の停止部材(44)から構成される第二のシリコンプレート(32);から成る加速度計であって、第一と第二の停止部材(42,44)が第一と第二のシリコンプレートの方向への塊部の過度の撓みを防止するようになっている前記加速度計。