特許

J-GLOBAL ID：200903074927806346

能動除振装置および方法ならびにデバイス製造方法

発明者： 岩井 功
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-331897
公開番号（公開出願番号）：特開2001-146940
出願日： 1999年11月22日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：

【要約】【課題】 除振台の搭載物が除振台上を移動する機器である場合や、寸法誤差や組立誤差により重心位置が設計上のものと異なる場合においても、振動制御性能を劣化させることがないようにする。【解決手段】 除振の対象物3を搭載する除振台1と、除振台を防振支持するとともに除振台へ制御力を加えるアクチュエータを有する複数の支持機構2と、除振台の振動を検出する複数の振動検出手段4と、複数の振動検出手段の出力信号に基づいて除振台の所定の運動モードの振動信号を抽出する抽出手段5と、抽出手段の出力に所定の補償を施す補償演算手段6と、補償演算手段により得られた各運動モードの補償信号を各アクチュエータの駆動信号として分配する分配手段とを備えた能動除振装置において、除振台または除振台と対象物を合わせた構造体の重心位置に基づいて抽出手段と分配手段の演算方法を変化させる。

請求項（抜粋）：

除振の対象物を搭載する除振台と、該除振台を防振支持するとともに該除振台へ制御力を加えるアクチュエータを有する複数の支持機構と、前記除振台の振動を検出する複数の振動検出手段と、前記複数の振動検出手段の出力信号に基づいて前記除振台の所定の運動モードの振動信号を抽出する抽出手段と、前記抽出手段の出力に所定の補償を施す補償演算手段と、前記補償演算手段により得られた各運動モードの補償信号を各アクチュエータの駆動信号として分配する分配手段とを備え、前記除振台または前記除振台と対象物を合わせた構造体の重心位置に基づいて前記抽出手段と分配手段の演算方法を変化させることを特徴とする能動除振装置。

IPC (3件)：

F16F 15/02 ,  F16F 15/027 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

F16F 15/02 A ,  F16F 15/027 ,  H01L 21/30 503 F

Fターム (14件)：

3J048AB07 ,  3J048AD14 ,  3J048BE02 ,  3J048CB09 ,  3J048CB13 ,  3J048DA01 ,  3J048EA07 ,  3J048EA13 ,  5F046AA23 ,  5F046DA09 ,  5F046DB03 ,  5F046DB14 ,  5F046DC14 ,  5F046DD06