表面レリーフプロファイラを製造する方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川政樹 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-519051
公開番号（公開出願番号）：特表平10-512059
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：

【要約】回折光学ガラスの表面レリーフプロファイルを他のガラス状基板に複数回複製する方法。たとえば、ガラス基板上に形成された鍛造可能であるが、硬化可能な層を光学ガラスの表面レリーフプロファイルの逆の形状を有するスタンパによってエンボス加工し、その結果、元の回折ガラスの表面レリーフプロファイルを高品質で複写する。エンボス加工済の層を硬化させ、スタンパから引離す。エンボス加工された表面レリーフプロファイルを有する硬化層を、たとえば、表面レリーフプロファイルがガラス基板の表面にエッチングされるようにエッチングダウンする。この方法の結果は、容易に製造でき、非常に耐久性にすぐれ、高い忠実度を有し且つ高品質の像を提供することができる、別の回折光学素子のガラス又は類似の材料の正確なレプリカである。

請求項（抜粋）：

サブミクロン単位の形状を有する表面レリーフプロファイルを形成するためにエンボス加工することが可能である乾燥した光硬化可能な膜を寸法が安定した、光学的に透明なガラス基板の表面に積層する工程と; 複製すべきマスタ回折光学ガラスの表面レリーフプロファイルの逆のプロファイルを有するスタンパを光硬化可能膜に押し当てることにより、光硬化可能膜に表面レリーフプロファイルをエンボス加工する工程と; スタンパと光硬化可能膜との埋め込み接触を維持しつつ光硬化可能膜の硬化を行い、その結果、表面レリーフプロファイルを含む光硬化膜を得る工程と; 表面レリーフプロファイルを含む光硬化膜からスタンパを引離す工程と; 表面レリーフプロファイルの全ての部分が膜を通して同じ速度で除去されて、ガラス基板に入り、表面レリーフプロファイルの全ての部分における除去の速度がガラス基板に入る既知の速度であるように、除去溶液を光硬化膜の上に塗布することにより、表面レリーフプロファイル転写を実行し、ガラス基板上の光硬化膜の全てが除去された後に除去を停止し、その結果、表面レリーフプロファイルを含むガラス基板を得る工程とから成る回折光学ガラスレプリカを製造する方法。

IPC (4件)：

G02B 5/18 , B29C 59/02 , C03C 15/00 , C03C 17/00

FI (4件)：

G02B 5/18 , B29C 59/02 Z , C03C 15/00 , C03C 17/00

前のページに戻る