特許
J-GLOBAL ID：200903074940184591

外観検査装置

発明者：
田中 巧

田中 巧 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-046057
公開番号（公開出願番号）：特開2001-236493
出願日： 2000年02月23日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：
【要約】【課題】 半導体ウエハや液晶基板などの被検体の画像を用いて被検体の外観検査を行う外観検査装置に関し、検査対象領域を被検体毎に指定し、被検体に適した外観検査が行える外観検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】 被検体の画像を取得する画像取得手段と、前記画像取得手段で取得された画像を用いて被検体の外観検査を行う外観検査手段とを備えた外観検査装置において、被検体の特性を示す特性情報を取得し、特性情報に対応付けて、被検体上の外観検査の対象となる領域を指定する検査対象領域情報を取得または生成する領域情報設定手段を備え、前記外観検査手段は、前記領域情報設定手段で取得または生成された検査対象領域情報によって指定される被検体上の領域を外観検査の対象とすることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被検体の画像を取得する画像取得手段と、前記画像取得手段で取得された画像を用いて被検体の外観検査を行う外観検査手段とを備えた外観検査装置において、被検体の特性を示す特性情報を取得し、特性情報に対応付けて、被検体上の外観検査の対象となる領域を指定する検査対象領域情報を取得または生成する領域情報設定手段を備え、前記外観検査手段は、前記領域情報設定手段で取得または生成された検査対象領域情報によって指定される被検体上の領域を外観検査の対象とすることを特徴とする外観検査装置。
IPC (5件)：
G06T 1/00 305 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G01N 21/956 ,  H01L 21/66
FI (5件)：
G06T 1/00 305 A ,  G01N 21/88 J ,  G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 J ,  G01B 11/24 F
Fターム (42件)：
2F065AA14 ,  2F065AA18 ,  2F065AA54 ,  2F065BB01 ,  2F065CC19 ,  2F065CC25 ,  2F065DD00 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF61 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ39 ,  2F065RR02 ,  2F065RR08 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BB05 ,  2G051BB20 ,  2G051DA05 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA21 ,  2G051ED01 ,  2G051FA01 ,  4M106AA01 ,  4M106CA38 ,  4M106DA15 ,  4M106DB01 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ21 ,  5B057AA03 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CC03 ,  5B057DA03 ,  5B057DA08 ,  5B057DA16 ,  5B057DC09 ,  5B057DC17
引用特許：
審査官引用 (12件)
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