特許
J-GLOBAL ID:200903074942527755

着色パターン層の形成方法とこの方法に使用される感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 上田 章三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-328636
公開番号(公開出願番号):特開平7-181314
出願日: 1993年12月24日
公開日(公表日): 1995年07月21日
要約:
【要約】【目的】 カラーフィルター層等の着色パターン層を透明基板上に高精度で形成できる方法とこの方法に使用する感光性樹脂組成物を提供すること。【構成】 ガラス基板1上に感光性樹脂組成物2を塗布し、露出・現像してこの感光性樹脂組成物層をパターン化し、パターン化された感光性樹脂組成物層から成る型枠とガラス基板の露出部とで構成される凹部内に着色ガラスペースト4’を充填し、かつ、焼成処理してカラーフィルター層4を形成する。この方法によれば露光・現像処理によりパターン化された型枠のパターン形状と形成位置とに対応してカラーフィルター層の形状と形成位置とが決定されるため、カラーフィルター層のパターン形状と形成位置を光学的限界まで精度良く制御することが可能となる。
請求項(抜粋):
透明基板上に着色パターン層を形成する方法において、上記透明基板上に感光性樹脂組成物を塗布し、かつ、露光・現像して上記感光性樹脂組成物層をパターン化する工程と、パターン化された感光性樹脂組成物層より成る型枠と透明基板の露出部とで構成される凹部内に着色組成物を充填する工程と、上記型枠を除去して着色組成物から成る着色パターン層を残存させる工程、を具備することを特徴とする着色パターン層の形成方法。
IPC (6件):
G02B 5/20 101 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/26 ,  G03F 7/40 521 ,  H01L 21/027

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