特許

J-GLOBAL ID：200903074945987013

光学式変位センサおよび外力検出装置

発明者： 北村 厚 ,  足立 重之
出願人/特許権者： ミネベア株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-397799
公開番号（公開出願番号）：特開2005-156456
出願日： 2003年11月27日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：

【課題】 ピンホールを用いることなく、ビーム径の調整や、出射光の光強度分布の均一化を実現することができる光学式変位センサおよびその光学式変位センサを用いた6軸力センサを提供することである。【解決手段】 光源2と受光手段1との間に光源2からの出射光を導光させる光ファイバ4を配設して、光ファイバ4を介して光源2からの出射光を受光手段1が受光するようにした。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

基準体または検出体のどちらかに設けられた光源と、前記基準体および前記検出体のうち前記光源が設けられているのとは別のほうに設けられた受光手段とを有し、前記光源から出射される光を前記受光手段によって受光し、該受光結果に基づいて、前記光源から出射される光の中心軸と直交する面内の2軸方向における前記基準体に対する前記検出体の相対変位を計測する光学式変位センサにおいて、 前記光源と前記受光手段との間に前記光源からの出射光を導光させる光ファイバを配設して、前記光ファイバを介して前記光源からの出射光を前記受光手段が受光するようにし、前記光ファイバが前記光源と一体化されていることを特徴とする光学式変位センサ。

IPC (2件)：

G01B11/00 ,  G01L5/16

FI (2件)：

G01B11/00 A ,  G01L5/16

Fターム (15件)：

2F051AB03 ,  2F051DA03 ,  2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065BB05 ,  2F065DD01 ,  2F065DD02 ,  2F065FF23 ,  2F065GG07 ,  2F065HH01 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065UU01 ,  2F065UU02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開平3-245028号公報
  

審査官引用 (4件)

• 特開平3-245028
  
• 曲面形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-253356   出願人：キヤノン株式会社
• 特開昭61-283842
  
• 特開昭60-091203