特許
J-GLOBAL ID：200903074946001359
半導体加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-354056
公開番号（公開出願番号）：特開平7-202221
出願日： 1993年12月29日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：
【要約】【目的】 加速度の検出感度を向上させる。【構成】 ダイヤフラム部43の内周縁43aを正方形に形成する。ダイヤフラム部43の外周縁43cを正八角形に形成する。内周縁43aを形成する正方形の対角線が外周縁43cを形成する正八角形の4つの辺のとその中央部において直交するように、外周縁43cを配置する。内周縁43aを形成する正方形の2つの対角線上には、X軸方向の加速度を検出するための抵抗素子Rx1〜Rx4と、Y軸方向の加速度を検出するための抵抗素子Ry1〜Ry4をそれぞれ形成する。
請求項（抜粋）：
中央部に作用部が形成され、この作用部の外側に変形可能な環状をなすダイヤフラム部が形成され、このダイヤフラム部の外側に支持部が形成された基板と、上記作用部に設けられた重りとを備え、上記ダイヤフラム部には、複数の抵抗素子が、上記作用部のほぼ中央を通る仮想直線に沿って、しかも上記作用部を間にした一方の側と他方の側とのそれぞれの内側部分と外側部分とにそれぞれ配置された半導体加速度センサにおいて、上記ダイヤフラム部の内周縁の上記仮想直線と交差する部分に外側に向かって突出する角部を形成したことを特徴とする半導体加速度センサ。
IPC (2件)：
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