特許

J-GLOBAL ID：200903074954736600

赤外線検出器の製造方法

発明者： 中山 雅夫 ,  辻村 長
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-209615
公開番号（公開出願番号）：特開平5-048122
出願日： 1991年08月21日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：

【要約】【目的】 赤外線検出器の冷却効果を改良する。【構成】 容器内に赤外線検出素子と冷却器を内蔵した赤外線検出器野製造方法において、冷却器に通電することで冷却動作をさせながら、加熱してガス出しする。本発明によれば、ガス出しを行なうに際して冷却器を動作させているので、赤外線検出素子の特性を加熱によって劣化させることなく、内部のガス抜きが行なえる。

請求項（抜粋）：

容器内に赤外線検出素子と冷却器を内蔵した赤外線検出器の製造方法において、前記冷却器に通電することで冷却動作をさせながら、前記容器を加熱してガス出しすることを特徴とする赤外線検出器の製造方法。