特許
J-GLOBAL ID:200903074959020360

形状判別装置及び形状判別方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 宮田 金雄 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-054017
公開番号(公開出願番号):特開2002-257538
出願日: 2001年02月28日
公開日(公表日): 2002年09月11日
要約:
【要約】【課題】 距離センサの受光レベルや高さデータのばらつき誤差が大きな場合であっても、精度良くかつ高速に形状判別処理を行うことが可能な形状判別処理装置を得る。【解決手段】 複数の標準形状各々に関する所定の境界点条件を含んだ複数の形状データを予め保存した形状辞書と、被検査体の表面高さを順次計測する高さ計測手段と、当該被検査体の形状プロファイルを作成する被検査体検出手段と、該形状プロファイルから一の形状データの境界点条件に合致する実境界点を抽出し、該実境界点により規定される近似直線と形状プロファイルとの直線近似値を算出し、該直線近似値に基づき形状プロファイルと形状データとの間の近似度合いを表す評価値を算出する、一連の評価値算出処理を全ての形状データについて行い、各形状データの評価値に基づいて被検査体の形状を判別する形状判別手段とを備える。
請求項(抜粋):
被検査体の形状を測定し、予め保存された複数の標準形状の何れに該当するかを判別する形状判別装置において、前記標準形状を規定する複数の境界点に関する所定の境界点条件を含んだ形状データを予め保存した形状辞書と、所定位置に固定され、移動する被検査体の表面高さを一定の時間間隔で計測し、高さデータを順次出力する高さ計測手段と、前記複数の高さデータに基づいて被検査体の前後端部を特定し、前記前後端の間で計測された当該被検査体に関する一連の高さデータ群のみを抽出し、形状プロファイルとして保存する被検査体検出手段と、前記形状辞書から形状データを読み出して、前記形状プロファイルより、前記各境界点条件に合致する高さデータを実境界点として、各境界点毎に順次抽出し、当該複数の実境界点により規定される被検査体の各構成部分それぞれ対応した複数の近似直線と、該近似直線各々に対応する形状プロファイルの高さデータのばらつき度合いを表す直線近似値を、各近似直線毎に順次算出し、該複数の直線近似値に基づいて前記形状プロファイルと当該形状データとの間の近似度合いを表す評価値を算出する、一連の評価値演算処理を、前記形状辞書に保存された全ての形状データについて順次行い、当該各形状データの評価値に基づいて被検査体の形状を判別する形状判別手段とを備えたことを特徴とする形状判別装置。
IPC (2件):
G01B 21/20 101 ,  G01B 21/02
FI (2件):
G01B 21/20 101 ,  G01B 21/02 A
Fターム (10件):
2F069AA42 ,  2F069AA61 ,  2F069BB21 ,  2F069DD15 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ12 ,  2F069NN16 ,  2F069NN25
引用特許:
審査官引用 (4件)
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