特許

J-GLOBAL ID：200903074966720491

感放射線性樹脂組成物

発明者： 大田 利幸 ,  佐野 公康 ,  道野 善行 ,  佐藤 穂積
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-338982
公開番号（公開出願番号）：特開平10-161307
出願日： 1996年12月04日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【構成】 感放射線性樹脂組成物が、カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物からなる構成成分が10〜40重量%、環状アルキル基を有し、カルボキシル基を有しないラジカル重合性化合物からなる構成成分が20〜70重量%および少なくとも下記式(イ)で表される化合物を含有する他のラジカル重合性化合物からなる構成成分が5〜60重量%からなるアルカリ可溶性を有する共重合体、少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物および放射線ラジカル重合開始剤を含有することを特徴とする。【効果】 本発明の感放射線性樹脂組成物は、優れた感光性とパターン形状を備え、特に金コート基板への密着性に優れ、回路基板形成用、特に金バンプ形成用材料として好適な感放射線性樹脂組成物を提供するものである。

請求項（抜粋）：

(A)(a)カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物からなる構成成分が10〜40重量%、(b)環状アルキル基を有し、カルボキシル基を有しないラジカル重合性化合物からなる構成成分が20〜70重量%および(c)少なくとも下記式(イ)で表される化合物を含有する他のラジカル重合性化合物からなる構成成分が5〜60重量%からなるアルカリ可溶性を有する共重合体、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物および(C)放射線ラジカル重合開始剤、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。〔式(イ)中、R1は水素原子またはメチル基を示し、R2は水素原子または炭素数1〜4のアルキル基を示し、nは2〜25の整数を示す。〕

IPC (8件)：

G03F 7/027 501 ,  C08F 2/48 ,  C08F265/06 ,  G03F 7/038 505 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/60 311 ,  H05K 3/06 ,  C08F220:14

FI (7件)：

G03F 7/027 501 ,  C08F 2/48 ,  C08F265/06 ,  G03F 7/038 505 ,  H01L 21/60 311 S ,  H05K 3/06 H ,  H01L 21/30 502 R