特許

J-GLOBAL ID：200903074968088830

感光性樹脂組成物およびその製造方法

発明者： 北條 泰広
出願人/特許権者： 京セラケミカル株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-242758
公開番号（公開出願番号）：特開2004-085637
出願日： 2002年08月23日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】特にi線(365nm)での紫外線露光が可能であり、高Tg、低α、低誘電率のネガ型感光性ポリイミド前駆体とその製造方法を提供する。【解決手段】(A)次の一般式のポリイミド前躯体、(但し、R1 、R2 は、4価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合又は-O-等で結合された4価の有機基であり、R3 は、2価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合又は-O-等で結合された2価の芳香族基であり、R4 、R5 は、2価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合又は-O-等で結合された2価の芳香族基であり、R6 、R7 、R8 、R9 は、1以上のエチレン性不飽和結合を有する1価の有機基であり、そしてm、nは1以上の整数である)(B)ポリイミド前躯体製造用の脱水縮合剤、(C)活性光線感度向上用の感光剤および(D)溶剤からなる感光性樹脂組成物。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A)次の一般式で示されるポリイミド前躯体、

IPC (6件)：

G03F7/027 ,  C08G73/10 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  H01L21/027 ,  H01L21/312

FI (6件)：

G03F7/027 514 ,  C08G73/10 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/038 504 ,  H01L21/312 D ,  H01L21/30 502R

Fターム (76件)：

2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC69 ,  2H025BJ10 ,  2H025CA01 ,  2H025CA26 ,  2H025CA27 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  4J043PA04 ,  4J043PC015 ,  4J043PC016 ,  4J043PC145 ,  4J043PC146 ,  4J043QB31 ,  4J043RA34 ,  4J043SA06 ,  4J043SA42 ,  4J043SA43 ,  4J043SA47 ,  4J043SA54 ,  4J043SA72 ,  4J043TA14 ,  4J043TA35 ,  4J043UA022 ,  4J043UA032 ,  4J043UA041 ,  4J043UA042 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA151 ,  4J043UA171 ,  4J043UA251 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UA331 ,  4J043UA361 ,  4J043UB011 ,  4J043UB021 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB211 ,  4J043UB281 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB311 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043XA14 ,  4J043XA16 ,  4J043XA19 ,  4J043YA02 ,  4J043YA06 ,  4J043YA19 ,  4J043ZA06 ,  4J043ZA24 ,  4J043ZA35 ,  4J043ZA43 ,  4J043ZB60 ,  5F058AA02 ,  5F058AA10 ,  5F058AC02 ,  5F058AC07 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH02 ,  5F058AH03