特許
J-GLOBAL ID:200903074970016766
圧電振動子ユニット、及びインクジェット式記録ヘッド
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
木村 勝彦 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-263119
公開番号(公開出願番号):特開2000-094677
出願日: 1998年09月17日
公開日(公表日): 2000年04月04日
要約:
【要約】【課題】 共通内部電極の電気抵抗を下げて固定領域の寸法を可及的に小さくすること。【解決手段】 個別内部電極18と同一の面をなし、かつ共通内部電極17、個別内部電極18とは絶縁されて後端面に露出する接続用電極20を形成し、コモン電極22と導電関係を持たせて、共通内部電極17の電気抵抗を引き下げ、もって固定領域の寸法を可及的に小さくする。
請求項(抜粋):
共通内部電極と、個別内部電極とを圧電材料を介して積層し、共通内部電極を固定端側の後端面に、また個別内部電極を自由端側の先端面に露出させ、駆動用圧電振動子の形成領域では先端面から固定領域の表面まで、またダミーの圧電振動子の形成領域では先端面から後端面まで延びる導電層が形成された圧電振動板を、非振動領域を固定基板に固定し、後端側が連続領域となり、かつ前記駆動用圧電振動子を形成すべき領域では前記導電層を相互に分離できるスリットにより歯割して構成された圧電振動子ユニット。
IPC (3件):
B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/083
FI (2件):
B41J 3/04 103 A
, H01L 41/08 Q
Fターム (11件):
2C057AF34
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG45
, 2C057AG48
, 2C057AG90
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AG94
, 2C057BA04
, 2C057BA14
引用特許: