パルスヒート式接合装置のヒータ温度検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山田文雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-222062
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051780
出願日： 1997年08月05日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】被接合部にヒータを押圧しこのヒータにパルス電流を供給して加熱すると共に、ヒータ温度をフィードバックしてヒータ温度を予め設定した温度プロファイルに追従させることにより接合を行うパルスヒート式接合装置に用いるヒータ温度検出装置において、ヒータ温度を広い温度範囲に亘って高精度に検出することができ、製品の均一性を向上させ歩溜まりを高めることができるようにし、手動操作による調整作業を不用にする。【解決手段】一端の温接点がヒータに固着された熱電対と、この熱電対の冷接点付近の温度を検出する温度センサと、熱電対の熱起電力に温度センサの出力を加算する温度補償部と、この温度補償部の出力を表示する表示装置と、を備える。熱電対の熱起電力は、ヒータ電流に同期してサンプリングするのが望ましく、特にヒータ電流が零となるタイミングにサンプリングするのがよい。

請求項（抜粋）：

被接合部にヒータを押圧しこのヒータにパルス電流を供給して加熱すると共に、ヒータ温度をフィードバックしてヒータ温度を予め設定した温度プロファイルに追従させることにより接合を行うパルスヒート式接合装置に用いるヒータ温度検出装置において、一端の温接点が前記ヒータに固着された熱電対と、この熱電対の冷接点付近の温度を検出する温度センサと、前記熱電対の熱起電力に前記温度センサの出力を加算する温度補償部と、この温度補償部の出力を表示する表示装置と、を備えることを特徴とするパルスヒート式接合装置のヒータ温度検出装置。

IPC (5件)：

G01K 7/13 , B23K 3/04 , G01N 25/72 , G05D 23/22 , H05B 3/00 310

FI (5件)：

G01K 7/12 B , B23K 3/04 Y , G01N 25/72 E , G05D 23/22 Z , H05B 3/00 310 E

引用特許：

審査官引用 (1件)

温度測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-304541 出願人：日本アビオニクス株式会社

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