可動装置及びその製造方法並びに位置決め装置と、これらを用いたテーブル装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：則近憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-061199
公開番号（公開出願番号）：特開平6-123787
出願日： 1993年02月26日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【目的】本発明は、微小変位の応答特性を向上させことができると同時に、コンパクトな微小変位機構を構成できる可動装置及びその製造方法並びに位置決め装置と、これらを用いたテーブル装置を提供することを目的とする。【構成】基板5を保持する基板保持部3を変位可能な状態で弾性的に支持するために設けられる支持機構11を介して前記試料保持部3を保持する固定部15が単一部材から一体成形されてなる可動装置2と、前記試料保持部3を光学系10の光軸9方向に微小変位させるために設けられる位置決め装置4a,4bとから構成されるテーブル装置。

請求項（抜粋）：

所定方向に変位可能な可動部と、この可動部を弾性的に支持するため、この可動部の変位方向と略一致する向きに対向して設けられる薄肉部よりなる支持機構と、この支持機構を介して前記可動部を支持する固定部とから構成され、前記可動部、前記支持機構及び前記固定部が単一部材から一体成形されていることを特徴とする可動装置。

IPC (4件)：

G12B 5/00 , B23Q 1/02 , H01L 21/027 , H01L 21/68

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平1-068691
特開平3-294137
特開平1-216549

審査官引用 (3件)

特開平1-068691
特開平3-294137
特開平1-216549

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