特許
J-GLOBAL ID:200903074989469346

静電継電器および静電継電器の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 青山 葆 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-244273
公開番号(公開出願番号):特開平9-092116
出願日: 1995年09月22日
公開日(公表日): 1997年04月04日
要約:
【要約】【課題】 小型で節電タイプの静電継電器およびその製造方法を提供することにある。【解決手段】 固定接点ブロック10の上方で一対のヒンジ部33,34を介して回動可能に支持された半導体結晶基材からなる可動片32に設けた常閉可動接点36が常開可動接点35よりも高い。そして、駆動用電極15および可動片32に電圧を印加していない場合は、常閉可動接点36が常閉固定接点13,14cに接触している。一方、前述の両者に電圧を印加して静電引力を生じさせると、可動片32がヒンジ部33,34を支点に回動し、常開可動接点35が常開固定接点12および共通固定接点14に接触する。
請求項(抜粋):
絶縁性基板の上面両端部に一対の常開固定接点および一対の常閉固定接点をそれぞれ設けるとともに、一対の前記常開固定接点近傍に駆動用電極を設けた固定接点ブロックと、この固定接点ブロックの上方で一対のヒンジ部を介して回動可能に支持され、かつ、下面両端部に常開可動接点および常閉可動接点をそれぞれ設けた半導体結晶基材からなる可動片とからなり、前記常閉固定接点および常閉可動接点のうち、少なくともいずれか一方が前記常開固定接点および常開可動接点よりも高く、前記駆動用電極および可動片に電圧を印加していない場合に、前記常閉可動接点が常閉固定接点に接触する一方、前記駆動用電極および可動片に電圧を印加して両者間に静電引力を生じさせた場合に、前記可動片が回動し、常開可動接点が常開固定接点に接触することを特徴とする静電継電器。
IPC (3件):
H01H 59/00 ,  H01H 11/00 ,  H01L 21/3065
FI (3件):
H01H 59/00 ,  H01H 11/00 V ,  H01L 21/302 J

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