特許
J-GLOBAL ID：200903074993871019
垂直磁気記録媒体及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-040162
公開番号（公開出願番号）：特開平5-258272
出願日： 1991年03月06日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】【目的】 良好な記録、再生特性を有する垂直磁気記録媒体を提供し、且つそのような垂直磁気記録媒体の製造方法を提供することである。【構成】 垂直磁気記録媒体は、媒体基体の上に形成された軟磁性下地層の上に垂直磁化層を有し、その軟磁性下地層は、抗磁力が約1エルステッド以下であり、軟磁性下地層および垂直磁化層における媒体面内方向の結晶粒径が約500Å以下である。また、このような垂直磁気記録媒体は、スパッタリング法を用いて製造する際に、媒体基体に負のDCバイアスを印加した状態でDCマグネトロン法により軟磁性下地層を成膜することにより、得られる。【効果】 軟磁性下地層が良好な磁気特性を備え微小で均一な面内結晶粒径を有したものとなり、したがってその上に形成される垂直磁化層も結晶配向性にすぐれ大きな面直結晶粒径と小さく均一な面内結晶粒径を有し高い垂直抗磁力を有するものとなるので、高記録密度、低媒体ノイズ、高出力の垂直磁気記録媒体とすることができる。
請求項（抜粋）：
垂直磁化層と軟磁性下地層とを有する垂直磁気記録媒体において、前記軟磁性下地層の抗磁力が約1エルステッド以下であり、前記垂直磁化層および軟磁性下地層における媒体面内方向の結晶粒径が約500Å以下であることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
IPC (2件)：
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