特許

J-GLOBAL ID：200903074996482110

回転角度測定装置

発明者： 清水 徹 ,  ▲船▼木 喜男
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-033714
公開番号（公開出願番号）：特開2004-245634
出願日： 2003年02月12日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：

【課題】高精度であり、かつ、回転テーブル等の任意の角度における角度測定が容易な回転角度測定装置を提供する。【解決手段】回転する物体12に固定されるポリゴンミラー14と、回転する物体とは別体の躯体に固定される、投光部18と受光部20とを備える検出部16であって、投光部よりポリゴンミラーにレーザ光を照射し、反射されたレーザ光を受光部で受光し、回転する物体の回転角度を測定する検出部16と、を備える回転角度測定装置。検出部16は、受光部で受光したレーザ光を一次光50とマイナス一次光52とに分割する光分割手段24と、分割された一次光とマイナス一次光とを干渉させるビーム干渉合成ユニット30とを備えており、ビーム干渉合成ユニットにより回転する物体の回転角度の誤差が求められる。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

回転する物体に固定される平面鏡と、 前記回転する物体とは別体の躯体に固定される、投光部と受光部とを備える検出部であって、前記投光部より前記平面鏡にレーザ光を照射し、前記平面鏡で反射されたレーザ光を前記受光部で受光し、前記回転する物体の回転角度を測定する検出部と、 を備える回転角度測定装置において、 前記検出部は、前記受光部で受光したレーザ光を一次光とマイナス一次光とに分割する光分割手段と、分割された前記一次光とマイナス一次光とを干渉させるビーム干渉合成ユニットとを備えており、 該ビーム干渉合成ユニットにより前記回転する物体の回転角度の誤差が求められることを特徴とする回転角度測定装置。

IPC (1件)：

G01B11/26

FI (1件)：

G01B11/26 G

Fターム (30件)：

2F065AA39 ,  2F065BB05 ,  2F065BB16 ,  2F065BB25 ,  2F065CC10 ,  2F065CC17 ,  2F065CC21 ,  2F065DD06 ,  2F065EE06 ,  2F065FF52 ,  2F065GG06 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL00 ,  2F065LL10 ,  2F065LL12 ,  2F065LL15 ,  2F065LL35 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL42 ,  2F065NN13 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ51 ,  2F065TT07