特許
J-GLOBAL ID:200903074998166690

廃スラリ処理方法及びその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 井上 俊夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-073282
公開番号(公開出願番号):特開平9-239661
出願日: 1996年03月04日
公開日(公表日): 1997年09月16日
要約:
【要約】【課題】 切削や研磨により排出された廃スラリから砥粒を回収するにあたり、簡単に、しかもフィルタ部の目詰まりを抑えて迅速に砥粒の分離を行うこと。【解決手段】 分離装置本体51をフィルタ部52にて区画して、上流側空間S1に圧送ポンプP2により廃スラリを圧送して供給し、超音波発振子53をONすると共に、下流側空間S2を排出ポンプP3により排出すると、廃スラリ中の分散液と削り滓等の微粒成分は、フィルタ部52を介して下流側空間S2に通流していく。砥粒は圧送によりフィルタ部52に付着しようとするが、超音波によりフィルタ部52は振動しているため振るい落とされる。従って目詰まりが抑えられて、分離が迅速に進行する。そして上流側空間S1に残留する砥粒を含む廃スラリは砥粒排出用の管Aへ押し出されて、回収される。
請求項(抜粋):
分散液に砥粒を分散してなるスラリを用いて切削または研磨を行い、これから排出された、砥粒と削り滓などの微粒成分を含む廃スラリから微粒成分を分離除去して砥粒を回収する方法において、前記砥粒より小さい前記微粒成分が通過できる多数の孔が形成されたフィルタ部により上流側空間と下流側空間とに区画し、前記上流側空間に廃スラリを供給しながら、廃スラリ中の分散液及び前記微粒成分をフィルタ部を介して下流側空間に排出すると共に、前記上流側空間に残留する砥粒を含む廃スラリを回収する工程と、前記フィルタ部に超音波を放射して前記フィルタ部に付着した砥粒を振るい落とす工程と、を含むことを特徴とする廃スラリ処理方法。

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