特許

J-GLOBAL ID：200903074999948404

光ディスク用スタンパの製造方法

発明者： 永原 美行 ,  十楚 博美
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-312772
公開番号（公開出願番号）：特開平9-157881
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】【課題】 酸化膜形成時の廃液処理装置や、真空処理装置を不要とし、電鋳処理に使用される電鋳液による親スタンパ表面のピットの腐食溶解を防止する。【解決手段】 酸化膜2または6は、少なくとも酸素を満たしているオーブンにマスタスタンパ1またはマザースタンパ5を入れるだけで、オーブンの熱と酸素との作用により形成される一方、マスタスタンパ1またはマザースタンパ5を温水に浸漬しても、温水の熱と温水に含有している酸素との作用により形成される。また、ニッケル薄膜3・7は酸化膜2・6上にスパッタリング法またはアルカリ性無電解メッキ法によって形成される。そして、ニッケル薄膜3・7により、マスタスタンパ1の突起1bまたはマザースタンパのピット5bは、上記電鋳液により腐食溶解されなくなる。

請求項（抜粋）：

微細な凹凸を表面に形成した親スタンパに電鋳処理を行うことによって、上記微細な凹凸を有した子スタンパを複製する光ディスク用スタンパの製造方法において、上記親スタンパに電鋳処理を行う前に、上記親スタンパの表面を酸化した酸化膜を形成した後、この酸化膜上に上記電鋳処理による上記微細な凹凸の腐食溶解を防止するための導電性保護膜を形成することを特徴とする光ディスク用スタンパの製造方法。

IPC (3件)：

C25D 1/00 321 ,  B29C 59/02 ,  G11B 7/26 511

FI (3件)：

C25D 1/00 321 ,  B29C 59/02 B ,  G11B 7/26 511