石英系光導波路の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上代哲司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-313576
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133648
出願日： 1999年11月04日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】すべての部位において、等しい厚さのコアを得て、それによって所望の光学特性を持つ石英系光導波路を得ること。特に、一つの基板内に複数の石英系光導波路を同時に製造する場合、有効となる方法を提供すること。【解決手段】コアが下部クラッドと上部クラッドの間に埋め込まれた石英系光導波路の製造方法であって、下部クラッドにコア形状に対応する溝パターンを形成する第1の工程、前記下部クラッド上にコア層を堆積する第2の工程、前記コア層の上にポリイミド系樹脂等からなる表面が平坦な膜厚調整層を堆積する第3の工程、前記膜厚調整層と、前記コア層を下部クラッド表面まで除去しコアを形成する第4の工程、前記下部クラッドと前記コア上に上部クラッドを堆積する第5の工程とからなる。

請求項（抜粋）：

コアが下部クラッドと上部クラッドの間に埋め込まれた石英系光導波路の製造方法であって、下部クラッドにコア形状に対応する溝パターンを形成する第1の工程、前記下部クラッド上にコア層を堆積する第2の工程、前記コア層の上に表面が平坦な膜厚調整層を堆積する第3の工程、前記膜厚調整層と、前記コア層を前記下部クラッド表面まで除去しコアを形成する第4の工程、前記下部クラッドと前記コア上に上部クラッドを堆積する第5の工程とからなる石英系光導波路の製造方法。

Fターム (4件)：

2H047KA04 , 2H047PA02 , 2H047PA24 , 2H047TA42

引用特許：

審査官引用 (7件)

石英系ガラス導波路の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-237008 出願人：日立電線株式会社
石英系光導波路及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-116144 出願人：日本電信電話株式会社
特開昭56-064436

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