特許

J-GLOBAL ID：200903075010463225

静電チャック部材およびその製造方法

発明者： 原田 良夫 ,  竹内 純一
出願人/特許権者： トーカロ株式会社
代理人 (1件)： 小川 順三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-223149
公開番号（公開出願番号）：特開平9-069554
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【課題】 体積固有抵抗が小さくかつ吸着力が小さいこと、および表面平滑性が悪いと共に、基板との密着性が悪く、また生産性が低いこと。【解決手段】 金属基板上に、金属質溶射被覆のアンダーコートを有し、かつその上にTin O2n-1 型化合物を含有するAl2O3 ・TiO2系セラミック溶射被覆を有する静電チャック部材、および、上記セラミック溶射材料を、30〜750 hpa の圧力に調整されたArガスもしくは空気雰囲気中で、水素ガスを含むプラズマ溶射法によって、前記溶射材料中のTiO2のすべてまたはその一部をTin O2n-1 で表される結晶型化合物に変化させる静電チャック部材の製造方法。

請求項（抜粋）：

金属基板上に、金属質溶射被覆のアンダーコートを有し、かつその上にはTin O2n-1 (n=1〜9)型化合物を含有する Al2O3・TiO2系セラミック溶射被覆を有することを特徴とする静電チャック部材。

IPC (8件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C01G 23/04 ,  C23C 4/10 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H02N 13/00 ,  H01L 21/203

FI (8件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  C01G 23/04 Z ,  C23C 4/10 ,  H01L 21/205 ,  H02N 13/00 D ,  H01L 21/203 Z ,  H01L 21/302 B