特許

J-GLOBAL ID：200903075011758830

共焦点レーザ走査式顕微鏡

発明者： ウルリッヒ シモン (氏名原語表記) Ulrich Simon ,  ラルフ ヴォレシェンスキー (氏名原語表記) Ralf Wolleschensky ,  ライナー ダンツ (氏名原語表記)Rainer Danz
出願人/特許権者： カール ツァイス イエナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 松田 省躬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-217509
公開番号（公開出願番号）：特開平11-125509
出願日： 1998年07月31日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：

【要約】【課題】多光子レーザ走査顕微鏡法を駆使することによって、たとえばOBIC (光誘起電流)あるいはLIVA (光波誘起電圧交番)のような非光学的検出技術を用いて、材料検査において、特に構成したシリコンウェハの検査を行う方法【解決手段】結晶性の材料の格子欠陥場所の局所化のために、走査レーザ光をもって、電子正孔電荷担体電流あるいは、ポテンシャル変動を生じせしめるために、高開口数を持つ顕微鏡対物レンズを使い、すべての三空間座標において多光子励起の高度な局所化をすることによって、結晶欠陥を非破壊で三次元的に局所化する。

請求項（抜粋）：

多光子励起に短波長レーザパルスを用いての材料検査を行う場合に、欠陥個所に関する非光学的検出するための共焦点レーザ走査式顕微鏡。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G02B 21/00

FI (2件)：

G01B 11/24 C ,  G02B 21/00