特許

J-GLOBAL ID：200903075012916278

洗浄用ブラシ

発明者： 鵜澤 昭彦
出願人/特許権者： 株式会社ユーティーケー・システム
代理人 (1件)： 福田 武通 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-284482
公開番号（公開出願番号）：特開2001-104052
出願日： 1999年10月05日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：

【要約】【課題】 基板の洗浄に要求される高度の洗浄品質を達成できるようにする。【解決手段】 この発明の洗浄用ブラシ1は、外表面に多数のブラシ毛7...を植毛したブラシ本体5に内側から流体を供給し、その流体でブラシ本体5を回転させるとともに、その流体をブラシ本体5に形成した流体通路6を介してブラシ本体5の外表面に排出するようにした、ことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

外表面に多数のブラシ毛を植毛したブラシ本体に内側から流体を供給し、その流体でブラシ本体を回転させるとともに、その流体をブラシ本体に形成した流体通路を介してブラシ本体の外表面に排出するようにした、ことを特徴とする洗浄用ブラシ。

IPC (3件)：

A46B 13/06 ,  B08B 1/04 ,  H01L 21/304 644

FI (3件)：

A46B 13/06 ,  B08B 1/04 ,  H01L 21/304 644 G

Fターム (12件)：

3B116AA02 ,  3B116AA03 ,  3B116AB01 ,  3B116BA02 ,  3B116BA13 ,  3B116BA14 ,  3B116CD23 ,  3B202AA00 ,  3B202AB30 ,  3B202BA01 ,  3B202BC01 ,  3B202BE01