特許

J-GLOBAL ID：200903075013463897

加工装置のチャックテーブル

発明者： 山本 直子
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-302666
公開番号（公開出願番号）：特開2005-066798
出願日： 2003年08月27日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：

【課題】 被加工物を加工時に歪みが生ずることなく保持することができる加工装置のチャックテーブルを提供する。【解決手段】 被加工物を吸引保持する加工装置のチャックテーブルであって、平滑面に形成された被加工物載置面を備えた保持プレートと、該保持プレートを支持する支持部材とを具備し、保持プレートは被加工物載置面に開口する吸引細孔を備えており、支持部材は保持プレートの吸引細孔と吸引源とを連通する第1の吸引通路と、保持プレートの吸引細孔以外の領域に対向して開口し吸引源と連通する第2の吸引通路とを備えている。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

被加工物を吸引保持する加工装置のチャックテーブルであって、 平滑面に形成された被加工物載置面を備えた保持プレートと、該保持プレートを支持する支持部材と、を具備し、 該保持プレートは、該被加工物載置面に開口する吸引細孔を備えており、 該支持部材は、該保持プレートの該吸引細孔と吸引源とを連通する第1の吸引通路と、該保持プレートの該吸引細孔以外の領域に対向して開口し吸引源と連通する第2の吸引通路とを備えている、 ことを特徴とする加工装置のチャックテーブル。

IPC (3件)：

B23Q3/08 ,  H01L21/301 ,  H01L21/68

FI (3件)：

B23Q3/08 A ,  H01L21/68 P ,  H01L21/78 N

Fターム (13件)：

3C016DA05 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA14 ,  5F031HA50 ,  5F031KA01 ,  5F031KA14 ,  5F031KA20 ,  5F031MA22 ,  5F031MA34 ,  5F031PA07 ,  5F031PA09

引用特許：

出願人引用 (2件)

• チャックテーブル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-062596   出願人：株式会社ディスコ
• 特開平3-236961
  

審査官引用 (1件)

• 特開平3-236961