ウエハ検査前処理方法及び処理装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：山本秀樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-266653
公開番号（公開出願番号）：特開2003-075312
出願日： 2001年09月04日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：

【要約】【課題】手動操作を自動化し易くし、同時に滴下したフッ酸液滴中にウエハ表面の自然酸化膜を確実かつ効率よく取り込むことを可能にして、検査精度及び作業性を共に向上できるようにする。【解決手段】シリコンウエハ7の表面にフッ酸を滴下し、該滴下された液滴S中にシリコンウエハ表面の自然酸化膜7bを溶かして取り込み、該液滴S2を前記シリコンウエハの汚染度測定用試料として回収する場合に用いられるものであって、前記シリコンウエハ表面にフッ酸液滴Sを自動で滴下する液滴下手段44と、前記滴下されてシリコンウエハ表面を移動した後の液滴S2の位置を検知する液滴検知手段40と、前記検知された液滴S2を捕捉可能であると共に吸引して内部に捕集可能な治具60とを少なくとも備え、前記治具60が記液滴検知手段40の検知信号に基づき移動制御され、前記検知された液滴S2を捕捉し、該液滴S2でシリコンウエハ表面を撫で回した後に該液滴を治具60内に吸引捕集して回収可能にした。

請求項（抜粋）：

シリコンウエハの表面にフッ酸を滴下し、該滴下された液滴中にシリコンウエハ表面の自然酸化膜を溶かして取り込み、前記シリコンウエハの汚染度測定用試料として回収する方法であって、前記フッ酸液滴を前記シリコンウエハ表面上の一端側に滴下する滴下工程と、前記滴下された液滴がシリコンウエハ表面の自然酸化膜に沿って広がると共に滴下位置と略反対の他端側に液滴として自然に集まる拡散・集液工程と、前記集まった液滴を検出する液検出工程と、前記検出された液滴を液滴用治具に捕捉する捕捉工程と、前記捕捉された液滴で前記シリコンウエハ表面を撫で回した後に前記治具内に吸引して回収する回収工程とを経ることを特徴とするウエハ検査前処理方法。

IPC (3件)：

G01N 1/28 , G01N 1/00 101 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 1/00 101 G , H01L 21/66 L , G01N 1/28 X

Fターム (21件)：

2G052AA13 , 2G052AC13 , 2G052AD12 , 2G052AD22 , 2G052AD46 , 2G052CA04 , 2G052CA40 , 2G052FD10 , 2G052GA19 , 2G052GA24 , 2G052HA19 , 2G052JA07 , 2G052JA09 , 4M106AA01 , 4M106BA12 , 4M106CA29 , 4M106DG03 , 4M106DG20 , 4M106DG26 , 4M106DH55 , 4M106DJ04

前のページに戻る