特許

J-GLOBAL ID：200903075016605293

洗浄用薬液供給装置

発明者： 池田 正次
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-205922
公開番号（公開出願番号）：特開平10-050651
出願日： 1996年08月05日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】圧力検出管に付着した結晶物を安全に除去可能で正確な量の洗浄用薬液を半導体ウェハの洗浄装置に供給することができる薬液供給装置を提供する。【解決手段】洗浄用薬液Lを収容するタンク4と、タンク4内に設けられ、タンク4内への洗浄用薬液Lの供給にともなって洗浄用薬液L内に先端開口部から没入される圧力検出管5と、圧力検出管5の上端部5bに設けられ、圧力検出管5内に存在する気体の圧力を検出する圧力検出器3と、圧力検出器3の検出する圧力が所定の圧力に上昇するまでタンク4内に洗浄用薬液を供給し、その後圧力検出器3の検出する圧力が所定の圧力に下降するまでタンク4内の洗浄用薬液Lを洗浄装置に供給して所定量の洗浄用薬液Lを洗浄装置に供給する制御装置26とを有する洗浄用薬液供給装置であって、圧力検出管5に付着する洗浄用薬液Lの結晶物10を除去する除去手段を備えるものとした。

請求項（抜粋）：

被洗浄体を洗浄用薬液によって洗浄する洗浄装置に洗浄用薬液を供給するタンクと、前記タンク内に設けられ、前記タンク内への洗浄用薬液の供給にともなって当該洗浄用薬液内に先端開口部から没入される圧力検出管と、前記圧力検出管内の圧力を検出して液面を検出する圧力検出器と、前記圧力検出器の検出する圧力が所定の圧力に上昇するまで前記タンク内に前記洗浄用薬液を供給し、その後前記圧力検出器の検出する圧力が所定の圧力に下降するまで前記タンク内の洗浄用薬液を前記洗浄装置に供給して所定量の洗浄用薬液を前記洗浄装置に供給する供給手段とを有する洗浄用薬液供給装置であって、前記圧力検出管に付着する洗浄用薬液の結晶物を当該圧力検出管内に除去体を供給して除去する除去手段を備えた洗浄用薬液供給装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B01J 4/00 103

FI (3件)：

H01L 21/304 341 S ,  H01L 21/304 341 Z ,  B01J 4/00 103