特許
J-GLOBAL ID：200903075020042520
エキシマレーザ加工機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-033084
公開番号（公開出願番号）：特開平5-228674
出願日： 1992年02月20日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】 エキシマレ-ザ加工に使用される装置に関するもので、高いエネルギ-効率で、加工速度が速く、低運転コストで微細穴加工の可能な加工機の実現を目的とする。【構成】 エキシマレ-ザ発振器1、エキシマレ-ザビ-ム分割光伝送体5、縮小投影光学系7を主要構成とし、該エキシマレ-ザビ-ム分割光伝送体5を光ファイバ-束とし、そのビ-ム導入端を束ねて、効率よくレ-ザビ-ムを導入し、ビ-ム出射端を任意の位置に配置でき、かつ任意の方向に向けることができ、エキシマレ-ザビ-ムを加工面の任意の位置に導入できるようにし、必要に応じてエキシマレ-ザレ-ザ発振器1とビ-ム分割光伝送体5の間にビ-ム縮小光学系7を挿入し、レ-ザビ-ム分割光伝送体5に石英光ファイバ-を用い、レ-ザ発振器1を放電励起型XeClレ-ザとし、縮小投影光学系7を両または片テレセントリック型として、発射されたレ-ザビ-ムを効率よく加工すべき位置に導入照射できるエキシマレ-ザ加工機。
請求項（抜粋）：
エキシマレ-ザ発振器と、エキシマレ-ザビ-ム分割光伝送体と、縮小投影光学系とを有し、前記エキシマレ-ザビ-ム分割光伝送体を光ファイバ-束とし、光ファイバ-のビ-ム導入端を束ねて、エキシマレ-ザビ-ムを導入できるように配置し、ビ-ム出射端位置と出射方向を任意に配置設定できるようにしたエキシマレ-ザ加工機。
IPC (5件)：
B23K 26/06
, B23K 26/08
, G02B 6/42
, G02B 27/00
, H01S 3/02
